簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "劉一宇".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="全晶片繞線"


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    針對多電子束微影於縫合處考慮聰明邊界之全晶片繞線
    • 電機工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 許智翔 指導教授: 方劭云
    • 多電子束微影 (Multiple E-beam Lithography) 作為最有希望的次世代微影技術(Next Generation Lithography),可用來解決傳統電子束的低產量問題。在…
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